“这些CMP技术也要交给我们俩弄吗?”
今天得到信息量太大了。两个年轻人很有种目不暇接的感觉。
多重图案技术,一听就明白,也就敢照亮照亮。但是CMP技术,涉及的就是就是真刀真枪了。
机械研磨,研磨液怎么办,研磨速度,机加工精度,这里面就没有一个是简单的。
他们两个与成永兴多少面临同样的问题,那就是毕竟学习时间太短,基础知识不牢靠。
“这几个技术,我会交给其他人进行研发。”
这个CMP技术,也很重要,但它就没有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比,谁先采用了。早采用,早受益。它完全可以光明正大的搞起来。
这也是为什么这个技术,被叫做真1微米的原因。
CMP技术摆在前台做幌子,多重图案技术藏在后面。
“是要交給赵主任他们吗?”
“我会另外安排。你们就不用管了。”
这确实是个令人头疼的问题。
工大在集成电路工艺上面,这两年也做出了些成果,但毕竟底蕴不足。
另外,术业有专攻。只靠一个专业的十几个人,去包打天下,根本就不现实。
赵主任领着一群弟子,已经在集成电路设计方面,狂奔了起来。那么就让他们继续走下去吧。
这些技术,很多都是系统性的。它甚至不是靠一两台设备,一两个设备厂家能搞定的。
引入第三方力量,就是必须。
不过这个事情不急。幌子的作用,主要还是幌子。
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“我们现在干什么?”
“第一步还是先来验证概念,另外要试验一下,看LELE和SAMP这两条路,哪一条更容易实现,难度最低。”
多重图案技术法,有两条实现路线。一条是LELE,另一条是SAMP.
LELE是将设计版图分解成两套独立的低密度图形,通过两次单独曝光和两次单独刻蚀,然后叠加在一起,形成更精细的图案。
SAMP是通过一次光刻形成核心图形,然后通过沉积(Deposition)在核心图案两侧形成侧墙(SideWall),最后通过刻蚀(Etch)和修剪曝光来实现所要的图形。
“这两条路,是你提出来的,你自己不知道?”
严亮觉得这个事情有点奇怪。
“我又没有自己动手做过,我哪里知道?”
“这真是你自己的想法?”
“你问这么多干什么?好奇心太大,会害死猫,你不知道吗?”
“我们又不是猫!不说算了,谁稀罕!”
一个人又不是生活在真空里,只要时间长了,总是要漏出些马脚的。以前,成永兴每次还会去找借口解释,慢慢的,他连借口都懒得找了。
这也是他只相信身边这几个人的缘故。至少这些同学,同乡,他信得
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