“第一个,需要高精度的光刻机。现在你们这两台,是没有办法。但是他们上不了生产线。要新型号的,精度至少要达到10微米级别。”
当前在国际上的主流光刻机的精度,已经达到了μm(微米),也就是500nm(纳米)。
LED用不到这么高的精度,后世最高的LED光刻机的精度,也才800nm左右。而在这个时代,LED光刻机,只要精度在10μm之下,就可以接受了。
在当前的LED产业链里,单独提高光刻机精度未必有用,因为后续的工艺环节,精度上不来。继续提高精度,就已经超出了人可以操作的范围。
从资料上看,这个时代的国产光刻机,已经可以达到2~3μm的精度,作为LED光刻机,是富富有余。
但是,这话,要看跟谁讲。科仪的这种实验室用光刻机,其精度嘛,成永兴居然不知道该用什么词来形容,也许是1mm?也就是1000μm?
“第二个呢?”
“第二个,我需要定制一台大光刻机。”
向下一个技术节点冲锋的条件已经具备,可以先期着手做些准备工作了。
“大光刻机?多大算大?”
刘民学听说过光刻机的指标,都是以精度为单位,例如毫米,微米,纳米但首次听说有用《大》这个定语的。
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“12英寸!可以光刻12英寸的光刻机。”
“12英寸?小成,你不是开玩笑吧!现在最大的晶圆片,才多大啊!”
世面上主流的晶圆片,都是6英寸以下的。8英寸也才刚刚被研发出来。12英寸,按理应该出现在2000年,也就是10年之后!
“你别管我要刻什么!我就要刻这么大的东西。是不是晶圆,就不干你事了。像这次的蓝光,基底材料是蓝宝石,而不是硅晶圆,一个道理。”
“小成,你也知道,我们在光刻机方面的力量并不强。而且我们已经彻底放弃这些产品线了。
以前我们就吃了这个亏,什么都想做,但什么都做不好。而且你的要求,不是大尺寸,就是高精度,恐怕是强人所难啊!”
刘民学也是技术出身。对于完成不了的任务,是不敢答应下来的。
更何况光刻机的精度,一般也随着晶圆面积的增大而提高,现在能用在8英寸晶圆上的光刻机,绝对是世界一流的光刻机。那么12英寸,可想而知,它的精度要到什么程度。
科仪公司的强项在于真空设备,镀膜设备。所以MOVCD交给他们,正对路。但是光刻机,所托非人。
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“真做不了?”
“小成,你也在我们厂子呆过,厂子什么地方强,什么地方弱,你心理是有数的。
你这两项要求,我们都没有把握。你要是硬要我们做。我们可以接下,
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